专利

  • 1.微细光固化厚膜逐层自动成型方法及装置.

  • 2.一种双光束三维光盘数据读写方法.

  • 3. 微细光固化厚膜逐层自动成型方法及装置.

  • 4.用于光斑三维压缩的超衍射相位调制片及其加工方法.

  • 5.一种压电厚膜驱动的微变形镜及其制备方法.

  • 6.一种通过透反式零位光栅产生绝对零位对准标记的方法.

  • 7.高耐磨性聚四氟乙烯改性材料及其制备方法.

  • 8.静电力驱动的三臂微型夹持装置.

  • 9.并行探针驱动的扫描等离子体加工装置和加工方法.

  • 10.一种主动式微流体混合器及混合方法.

  • 11.高耐磨性聚四氟乙烯复合材料及其制备方法.

  • 12.一种产生三维零位对准标记的方法.

  • 13.三维微细加工或高密信息存储的双光子加工装置及其方法.

  • 14.锆钛酸铅铁电薄膜的湿法刻蚀方法.

  • 15.铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试装置.

  • 16.铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试方法及装置.

  • 17.二维编码式零位对准标记.

  • 18.二维编码式零位对准标记和编码方法.

  • 19.高性能锆钛酸铅薄膜的制备方法.

  • 20.具有0.01纳米分辨率的原子光栅测量方法.

  • 21.单色随机点立体防伪标志.

  • 22.微机化干涉扫描微位移测量仪.

  • 23.斜行光干涉仪伸缩计量方法及装置.