实验室简介

中国科学技术大学微纳米工程实验室于1993年由黄文浩教授创立。研究方向涵盖微纳米器件及系统、扫描探针显微镜及其标准化、基于压电陶瓷的微系统设计、制造与测量技术、飞秒激光微纳米制造技术、纳米制造信息平台等。现有教授3名,副教授4名,讲师2名。目前承担重要科研项目包括:科技部973项目、国家自然科学基金项目、国家青年千人项目、中科院仪器项目等10余项。近年来在Light: Sci & Appl.,PNAS,Adv. Mater.,ACS Nano.,Laser Photon. Rev. , Lab Chip, Appl. Phys. Lett., Opt.Lett.等杂志发表相关论文100余篇。
      本实验室拥有面积约300平方米的洁净室(包括千级光刻和化学区,万级的微纳加工、激光加工区和十万级的测量检测区)。设备有双面对准光刻机、飞秒激光微纳加工系统、氧化炉、蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、气相沉积制膜系统、反应离子刻蚀机、离子束刻蚀机、Olympus微分干涉和荧光显微镜、大范围三维PI纳米移动台和多套扫描探针显微镜等设备。实验室与国内外大学,如西班牙马德里自治大学、日本东京大学、大阪大学、日本通产省工业技术院机械技术研究所、美国普度大学、亚利桑那大学、日本理化所等知名高校研究所建立有合作研究关系。