中国科学技术大学毕业（85年学士88年硕士97年博士）,1988年起留校任教。曾任日本东京大学工学部访问学者（90年10月-91年3月、94年9月-12月）;西班牙马德里自治大学访问学者（94年1月-2月）;日本学术振兴会研究员（JSPS Fellow,97年6月-98年3月）和日本国立机械技术研究所NEDO产业技术研究员（98年4月-00年9月）。2000年回到中国科技大学担任教授/博士生导师。并先后任精密机械与精密仪器系常务副主任、工程科学学院分党委书记、副院长，微系统技术科学研究中心主任，兼任中国科学技术大学超精密工程研究所所长、校学位委员会委员，中国科学院南京天文光学技术研究所兼职研究员/博士生导师，人力资源部部长等职务，2019年3月起任中国科学技术大学党委常委。学术服务包括担任中国微米纳米技术学会理事、中国仪器仪表学会理事、精密机械学会副秘书长、安徽省仪器仪表学会常务副理事长，担任《传感技术学报》、《光学精密工程》和《中国科学技术大学学报》等期刊编委，并曾应邀担任《J. Micromechanics and Micro-engineering》 guest editor主编IWMF特辑。入选国家教育部“优秀青年教师资助计划”,“安徽省高校优秀共产党员”,中国电子学会优秀论文奖,享受国务院政府特殊津贴。