1968年毕业于清华大学精密仪器及机械制造系精密仪器专业。1978年至今在中国科技大学精密机械与精密仪器系任教，现任教授，博士生导师。其中1989－1991年，西班牙马德里自治大学， 1993－1994年日本东京大学访问学者。曾承担国际科技合作项目有： 中-日大学群合作先进制造领域中方负责人（1996-2002），中国－西班牙国家级科技合作项目（2001－2004） “纳米技术与仪器”负责人。主持国家自然科学基金面上项目、重点项目、973子课题等多项。在国内外刊物发表论文200余篇。现任国家纳米技术标准化委员会委员，国际标准化组织ISO/TC201/SC9/WG2召集人。《光学精密工程》《纳米技术与精密工程》杂志编委。2011年担任国际纳米制造趋势论坛NanoTrends2011组委会主席。2011年当选国际纳米制造学会会士（Fellow of ISNM)。2013年科技部聘请为973计划制造与工程科学领域咨询组专家。