型号：ZEISSEVO18  

厂商：德国卡尔蔡司公司

主要技术指标：  

分辨率：3.0nm@30KV  

加速电压：0.2-30KV  

放大倍数：5-1000000倍  

探针电流：0.5PA-5μA  

样品室：365mm(Φ)x275mm(h)  

主要用途：  

纳米尺度材料表面微观形貌、结构及断口形貌分析。