型号：MLD-221D  

厂商：日本NEOARK公司  

设备参数：  

光源波长：632.8nm  

最小束径：垂直振动（Z向）10μm  

水平振动（X向）15μm  

测量频率范围：DC—1.5MHz  

工作台移动范围20mm，最小步距10μm  

位移测量范围(Z轴)：±32µm@1nm分辨率  

±320µm@10nm分辨率  

附件：锁相放大器  

频率范围：1mHzto100kHz  

相位稳定性：0.01°/°C  

增益稳定性：±100ppm/°C  

最小时间常数：10µs  

主要用途：  

该设备可用于测量特征尺寸只有数微米的微器件上的不同点的纳米级振动和位移信号，并给出不同点之间的相位关系，从而获知微器件整体振动模态。