型号：ContourGT-K  

厂商：德国Bruker公司  

设备参数：  

测量范围：PSI模式≤160nm  

VSI模式≥160nm  

垂直测量范围：0.1nm至1mm  

全量程闭环扫描  

垂直分辨率：<0.1nmRa  

RMS重现性：0.01nm  

垂直扫描速度：达7.2μm/s以上  

横向分辨率：0.08-13.1μm  

视场范围：8.24mm-0.05mm  

主要用途：  

Bruker光学轮廓仪是一种双LED光源的非接触式光学仪器，对样品基本上没有损害。视样品选择不同测量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于测量光滑表面粗糙度；垂直扫描干涉模式(VSI)则可以做高度、宽度、曲率半径，粗糙度的计测等。